真空腔室L400×W440×H450mm,采用SUS304优质不锈钢
观察窗Φ100mm,含磁力挡板
屏蔽板不锈钢,便于拆卸清洁、更换
水冷蒸发电极8根组成4组
金属蒸发电源功率3kW
复合分子泵JTFB-650Z脂润滑分子泵,抽速650L/s
直联高速旋片式真空泵TRP-36,抽速9L/s
气动高真空插板阀DN150
前级阀/旁路阀DN40
放气阀φ10 电磁充气阀
数显复合真空计两低一高,含规管
波纹管、真空管道材质SUS304不锈钢
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于半导体、光电、 optics 等领域。它的基本工作原理是通过电阻加热将材料(通常是金属或合金)加热到蒸发温度,使其从固态转变为气态,然后冷却后在基材上形成薄膜。
以下是电阻蒸镀机的一些关键组成部分和特点:
1. **电阻加热源**:通过电阻丝或钨丝加热蒸发源,相关温度能够控制材料的蒸发速率。
2. **真空室**:在真空环境下进行蒸镀可以减少气体分子的干扰,从而提高薄膜的质量和纯度。
3. **蒸发源**:放置待蒸发材料的地方,常用的材料有铝、金、银等。
4. **基材夹持系统**:用于固定待涂覆的物体,确保薄膜均匀性。
5. **厚度监测器**:通常使用晶体监测器(如QCM)来实时监测薄膜的厚度,确保达到预定的沉积量。
6. **冷却系统**:在蒸镀过程中,冷却系统可以防止设备过热,保证设备和材料的稳定性。
电阻蒸镀机具有操作简便、控制准确和沉积均匀等优点,适合大面积和高均匀性薄膜的制备。由于其热沉积的特性,相比其他蒸镀方式(例如电子束蒸镀),更适合处理低熔属和合金。
热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于材料科学、光电器件制造、表面改性等领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:通过热蒸发过程将材料(如金属、半导体或绝缘体)加热温,使其蒸发并在基材表面沉积形成薄膜。
2. **膜层控制**:可控制沉积速率和膜层厚度,以满足不同应用的要求。
3. **真空环境**:在高真空条件下操作,减少气体分子对蒸发材料的干扰,从而提高膜层质量。
4. **材料多样性**:能够使用多种不同的蒸发材料,满足不同材料系统的需求。
5. **均匀性**:能够实现均匀的膜层沉积,适用于大面积基材的镀膜。
6. **兼容性**:可以与其他镀膜技术(如溅射、化学气相沉积等)结合使用,以实现更复杂的薄膜结构。
7. **自动化与监控**:许多现代热蒸发镀膜机配备了自动化控制系统和监测仪器,方便实时监控沉积过程。
通过这些功能,热蒸发镀膜机在电子器件、光学元件、传感器等领域中扮演着重要角色。
热蒸发手套箱一体机是一种用于材料制备和表面处理的设备,广泛应用于材料科学、半导体、光电器件等领域。其特点包括:
1. **一体化设计**:将热蒸发设备与手套箱结合为一体,有效减少了样品在转移过程中的污染风险。
2. **高纯度环境**:手套箱内部通常可维持在低湿度和惰性气体氛围(如氮气或氩气),有助于防止样品氧化和水分侵入。
3. **控制**:设备通常配备温度、压力和蒸发速率等多种参数的实时监控和调节功能,以确保材料沉积的性。
4. **易于操作**:手套箱设计便于操作人员进行样品的准备、放置和观察,操作方便且安全。
5. **多功能性**:除了热蒸发功能,部分设备还具备其他处理功能,如光刻、刻蚀等,提升了实验的灵活性。
6. **样品多样性**:能够支持多种材料的蒸发沉积,包括金属、氧化物、聚合物等,适用范围广。
7. **提高实验效率**:集成化设计减少了样品处理时间,提高了实验的整体效率。
8. **低污染风险**:由于手套的封闭性,有效避免了外部污染源对样品的影响,保证实验结果的可靠性。
这些特点使得热蒸发手套箱一体机在高精度材料研究和开发中成为一个重要的工具。
热蒸镀是一种用于表面处理的技术,主要用于金属表面的镀层工艺,其功能和应用包括:
1. **防腐蚀**:热蒸镀能在金属表面形成一层致密的保护膜,从而提高金属的耐腐蚀性能,延长使用寿命。
2. **改善表面性能**:通过热蒸镀,可以改善金属表面的硬度、耐磨性、光滑度等性能。
3. **提升美观**:热蒸镀可以使产品表面光亮美观,提高产品的外观质量,增强市场竞争力。
4. **电导性能**:在一些电子设备中,热蒸镀可以增强金属的导电性能,改善电气连接。
5. **降低摩擦**:镀层能减少部件之间的摩擦,降低机械磨损,提升设备的效率和使用寿命。
6. **隔热与绝缘**:某些热蒸镀膜具有良好的隔热或电绝缘性能,可以应用于高温或高压环境中。
7. **热交换性能**:在热交换器等领域,热蒸镀可以提高热传导效率。
综上所述,热蒸镀是一种重要的表面处理技术,在工业和日常生活中有着广泛的应用。
蒸发舟是一种用于薄膜沉积和蒸发材料的装置,广泛应用于材料科学、半导体制造以及光学薄膜的生产中。它的主要功能和特点包括:
1. **材料蒸发**:蒸发舟通过加热将固体材料加热到其熔点或蒸发点,使其转变为气态,随后沉积到基材上形成薄膜。
2. **薄膜均匀性**:蒸发舟可以控制蒸发速率和温度,从而在基材上形成均匀厚度的薄膜,这对于光学性能和电学性能至关重要。
3. **控制**:通过调整蒸发舟的加热方式(如电阻加热、激光加热等),可以实现对蒸发速率和沉积材料的控制。
4. **多种材料**:可以使用材料,如金属、氧化物和聚合物,进行蒸发沉积,以满足不同应用的需求。
5. **真空环境**:通常在真空环境中进行操作,以减少氧化和污染,提高薄膜的质量和性能。
6. **应用广泛**:用于光电器件、太阳能电池、传感器等多个领域,通过制备高性能薄膜来提升器件性能。
蒸发舟在薄膜技术中的重要性使其成为现代材料科学和工程中的一种关键工具。
蒸发舟是一种常用于实验室或工业中蒸发液体的设备,主要用于蒸发颗粒的过程中。其适用范围包括但不限于以下几个方面:
1. **化工行业**:用于浓缩化学溶液、分离有机溶剂和提取活性成分。
2. **制药行业**:在药物研发和生产过程中,蒸发舟可以用于浓缩药液和提取有效成分。
3. **食品行业**:用于浓缩果汁或其他液体食品,去除水分以提高产品的风味和保质期。
4. **环境保护**:在污水处理过程中,蒸发舟可以帮助去除水中的污染物。
5. **材料科学**:用于制备薄膜材料或其他需要控制成分浓度的材料。
6. **实验室研究**:在化学、材料科学等领域的实验中,用于蒸发和浓缩样品。
总的来说,蒸发舟适用于需要对液体进行蒸发以实现分离、浓缩或提取的场合。不同的行业和应用可能对蒸发舟有不同的具体要求。
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