温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
高低温真空探针台是一种用于半导体器件测试和研究的设备,它可以在高温或低温环境下进行测量,同时具备真空操作的功能。这种设备通常用于材料科学、电子学、物理学等领域,特别是在半导体、纳米材料和器件特性测试方面。
高低温真空探针台的主要功能和特点包括:
1. **温度控制**:能够将测试样品的温度控制在很广泛的范围内,通常从液氮温度(约-196℃)到几百摄氏度的高温。
2. **真空环境**:设备能够在真空条件下工作,减少气体对测试结果的影响,从而提高测量的度。
3. **电气测量**:探针台配备有精密的探针,可以对样品进行电气测量,例如测量电流、电压和电阻等参数。
4. **样品对接**:探针台通常设计有灵活的样品支架,能够适应不同形状和尺寸的样品。
5. **自动化和数据采集**:许多现代探针台配备计算机控制系统,可以实现自动测量和数据采集,提高测试的效率和 reproducibility(可重复性)。
高低温真空探针台广泛应用于研究和开发新型电子器件、材料特性分析以及故障分析等领域。它们在电子和光电行业的研发中扮演着重要角色。
探针台卡盘(Probing Station Chuck)在半导体测试和研究中具有重要功能。它的主要功能包括:
1. **样品固定**:探针台卡盘能够稳固地固定待测试的半导体芯片或其他样本,确保在测试过程中样品不发生移动。
2. **定位**:通过高精度的微调机制,卡盘可以实现样品的定位,以便于探针与样品上的特定点进行接触。
3. **温度控制**:一些的探针台卡盘配备了温度控制功能,可以在不同的温度条件下进行测试,以研究温度对电性能的影响。
4. **电气连接**:卡盘通常与探针阵列一起工作,通过探针与样品接触,实现电气信号的传输,允许测试电性能参数。
5. **兼容性**:探针台卡盘设计通常具有良好的兼容性,可以与不同类型和尺寸的样本以及探针头配合使用。
6. **环境控制**:一些探针台卡盘具备气氛控制功能,可以在特定气氛(如氮气或真空环境)中进行测试,以降低氧化和其他环境影响。
总的来说,探针台卡盘在半导体研发和制造过程中扮演着至关重要的角色,它不仅提高了测试的性,还为研究提供了的实验条件。

真空探针台是一种用于微电子器件测试与研究的精密仪器,其主要功能包括:
1. **电学测试**:能够对半导体器件进行电性能测试,如IV(电流-电压)特性测试、CV(电容-电压)特性测试等。
2. **高真空环境**:提供高真空或真空环境,减少气体分子对测试结果的干扰,特别是在处理空气敏感材料或量子特性研究时尤为重要。
3. **微观定位**:由于其高精度的定位功能,能够对微小结构进行接触和扫描,适用于纳米尺度设备的测试。
4. **冷热测试**:部分真空探针台配备温控系统,可以在低温或高温条件下进行测试,以研究材料和器件在不同温度下的特性。
5. **材料表征**:能够对薄膜、纳米材料等进行表征,分析其电学性质、表面状态等。
6. **集成化测试**:可以与其他仪器(如扫描电子显微镜、原子力显微镜等)联用,进行更深入的材料或器件分析。
总之,真空探针台是半导体研究、材料科学等领域中的重要设备。

光学探针台是一种用于微观尺度上测量和分析样品的仪器,主要应用于材料科学、半导体研究、纳米技术和生物医学等领域。其主要功能包括:
1. **高精度定位**:光学探针台配备高精度的运动系统,可以将探针或光学装置在样品表面上进行微米级甚至纳米级的定位,以实现准确的测量和操作。
2. **光学成像**:利用高分辨率的成像系统,可以对样品进行实时观察,提供样品表面的详细信息,帮助研究人员分析结构和特性。
3. **探针测量**:光学探针台通常配有不同类型的探针,可以进行电学、热学、力学等性质的测量,例如扫描探针显微镜(SPM)和原子力显微镜(AFM)等。
4. **环境控制**:许多光学探针台可以在控制的环境条件下进行实验(如温度、湿度、气氛等),以观察样品在不同条件下的表现。
5. **数据采集和分析**:通过集成的软件系统,光学探针台可以实时采集数据并进行分析,为研究人员提供有价值的信息。
6. **样品操作**:某些光学探针台还具备对样品进行处理和操作的能力,如刻蚀、沉积等,为材料制备提供。
7. **多功能集成**:现代光学探针台还可以与其他技术结合,如激光光谱、电子显微镜等,以实现更全面的分析与表征。
光学探针台因其和多功能性,成为研究和开发中的重要工具。

探针座位移平台是一种用于电子测试和测量的设备,主要功能包括:
1. **定位**:能够地移动探针到*的测试点,确保测量的准确性。
2. **多轴控制**:通常具有多个自由度(如X、Y、Z轴),可以在三维空间中灵活移动,以适应不同尺寸和布局的测试样品。
3. **自动化测试**:支持自动化操作,提高测试效率,减少人为误差。
4. **扫描功能**:可以进行扫描操作,逐点测量,以获取样品的电性能数据。
5. **与测试仪器集成**:可与测试仪器(如示波器、LCR表等)连接,进行综合测试与数据分析。
6. **数据记录与分析**:记录测试过程中的数据,并可进行后续分析,以便于评估样品性能。
7. **灵活适应性**:可根据不同的测试需求和样品特性,调整探针的位置和压力,以确保接触。
探针座位移平台在半导体、微电子、材料科学等领域的测试和研究中具有重要的应用价值。
高低温真空探针台是一种专门用于材料和器件测试的设备,广泛应用于以下领域:
1. **半导体研究**:用于测试半导体材料、器件(如晶体管、二极管等)的电性能和热性能,尤其是在极端温度条件下的表现。
2. **纳米材料**:适合对纳米材料进行电学性能测试,研究其在不同温度和真空条件下的特性。
3. **物理学和材料科学研究**:可用于基本物理实验,如测量材料的电导率、热导率等,以及研究材料在高低温下的相变行为。
4. **太阳能电池**:用于太阳能电池材料的测试,以评估其在不同温度和环境条件下的效率和稳定性。
5. **传感器及MEMS器件**:对传感器和微机电系统(MEMS)的性能进行评估,确保其在实际应用中的可靠性。
6. **实验室研发**:研究人员在新材料开发过程中,可以使用探针台进行电学和热学测试。
总之,高低温真空探针台适用于多种需要在高低温及真空条件下进行测试的高科技领域。
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